白光干涉三維形貌儀

——  白光干涉三維形貌儀SPA25 ——

——  帶操縱桿的電動樣品臺 ——

白光干涉三維形貌儀SPA25的自動樣品臺：

軟件或操作桿控制自動樣品臺可準確測量定位，并能實現大面積測量的自動移動和拼接功能，大測量面積為：300mm*300mm。

——  帶操縱桿的電動樣品臺 ——

白光干涉三維形貌儀SPA25的軟件：

MountainsMap Imaging Topography software 強大的測量和分析軟件可完成所有表面分 析的要求。計算表面結構和表面粗糙度符合不同的工業標準，如：ISO25178，ISO4287， ISO13565，ISO16610 等。

應用范圍廣：

由于結合了高的測量分辨率，快的測量速度和強大的分析軟件使 SPA25 三維形貌儀具有 非常廣的應用范圍。如大面積樣品的 3D 表面形貌測量，表面缺陷測量，表面結構測量， 表面粗糙度測量等。 

——  10x 和 50x 顯微鏡物鏡 ——

顯微鏡物鏡

SPA 25 使用 Mirau 干涉儀顯微鏡物鏡。這些物鏡具有不同的放大倍數，這些放大倍數會 影響 XY 尺寸的分辨率。請注意，由于利用了白光干涉測量技術，Z 維度的分辨率與放大倍數無關。